- 有效測(cè)量行程(X軸×Y軸) :300 mm×200 mm 
- Z軸調(diào)焦升降范圍:≤200mm 
- 分辨率:0.001mm 
- X、Y軸線性精度:U≤( 3+L/200 )μm  
- 載物臺(tái)尺寸:445mm×345mm 
- 玻璃臺(tái)尺寸:330 mm×230 mm 
- 承載重量:≤25 kg 
- 影像系統(tǒng):美國(guó)TEO高分辨率1/3"彩色CCD 
- 物鏡:可連續(xù)變倍光學(xué)放大倍率0.7×-4.5× 
- 影像放大倍率:20-225×, 
  光柵尺:高精度精密光柵尺,分辨率1um 光柵尺:高精度精密光柵尺,分辨率1um
 
- 照明系統(tǒng):表面光源及透射光源均為L(zhǎng)ED,亮度可調(diào) 
- 傳動(dòng)方式:精密無(wú)牙傳動(dòng)+P級(jí)交叉導(dǎo)軌 
- 操作方式:搖桿手柄、鼠標(biāo)拖運(yùn)、 
- 主機(jī)外形尺寸:700 mm×470mm×950 mm 
- 機(jī)臺(tái)底座、工作臺(tái)、Z軸立柱:高精度花崗巖 
- 儀器總重:約150 kg 
- 量測(cè)軟件:光學(xué)視覺(jué)精密測(cè)量測(cè)軟件 
- 數(shù)據(jù)輸出:測(cè)量數(shù)據(jù)Word(doc)、Excel(xls)